Semiconductor devices. Micro-electromechanical devicesTest method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems
Dispositifs semiconducteurs. Dispositifs microlectromcaniques. Mthode dessai pour les coefficients de dilatation thermique linaire des matriaux autonomes pour systmes microlectromcaniques
Title in German
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Prfverfahren fr lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten fr freistehende Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
