Descriptors
Semiconductor devices, Electronic equipment and components, Electromechanical devices, Semiconductor technology, Integrated circuits, Thin-film devices, Fatigue testing, Bend testing, Resonance, Vibration, Test specimens, Test equipment
Title in French
Dispositifs semiconducteurs. Dispositifs microlectromcaniques. Mthode dessai de fatigue en flexion des matriaux en couche mince utilisant les vibrations la rsonance des structures systmes microlectromcaniques (MEMS)
Title in German
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Verfahren zur Prfung der Biege-Ermdungsfestigkeit von Dnnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen
Pages
34
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