Surface chemical analysis. Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
Surface chemistry, Chemical analysis and testing, Silicon, Substrates (insulating), Control samples, X-ray fluorescence spectrometry, Spectrophotometry, Spectroscopy, Fluorimetry, Iron, Nickel, Decomposition reactions
Title in French
Analyse chimique des surfaces. Mthodes chimiques pour collecter les lments analyss de tranches de silicium comme matriaux de rfrence pour lanalyse par spectroscopie de fluorescence X en rflexion totale (TXRF)
Title in German
Chemische Analytik an Oberflchen. Chemische Methoden fr die Sammlung von Elementen von der Oberflche von Siliziumscheiben-Arbeits-Referenzmaterialien und deren Bestimmung mit Totalreflexions-Rntgenfluoreszenzanalyse (TXRF)